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특 징
- 접액부는 테프론 재질로 되어 있어 초순수, 세정수, 냉각수, 약액(내산, 내알카리)등
유체의 일정유량제어가 가능.
- 전용의 신형 밸브구조에 의해 Particle이 거의 발생하지 않는다.
- 고온타입은 80℃까지 제어 가능
- RS232C로 Digital 제어 가능.
- 유로에는 과발생체와 과검출기가 있는 간단한 구조로, 압력 손실이 적고, 액의 누수가
없고, 검출기가 액과 접촉하고 있지 않기 때문에, 순수한 반도체 process 유체제어와
의약, 식품관련의 액체 제어에 최적 제품입니다.
- 정밀도가 ±1% 이내로 우수하고, 응답성도 전영역에서 2초이내입니다.
규 격
- 유량 범위 : 0.4 ~ 2.0L/min
- 크기 : 50(W) x 272(L) x 140(H) mm
- 측정 유체 : 물, 냉각수, 순수, 초순수, 약액 등
- 측정 정도 : ±1.0% F.S 이내
- 재현성 : ±0.7%F.S. 이내
- 응답성 : 2초 이내 (100% F.S)
- 입,출력 신호 : 4~20mA
- 통신 기능(옵션) : RS232C(케이블 3m)
- 입력 전원 : DC 24V
- 동작 가능 유체 온도 범위 : 10~35°C (옵션 : 10~80°C)
- 내압 : 최대 0.6 MPa (at 25°C)
- 공급 압력 : 0.15 ~ 0.35MPa
- 접액부 재질 : PTFE, PFA
- Valve 구조 : Normal open
- 접속 구경 : 3/8"
- 설치 방향 : 자유 (수평설치 권장)
- 무게 : 1.3kg
옵션 (Flow control Indicator, RB200)
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